DLC pob zeb diamond-zoo li txheej yog qhov kev ua yeeb yam zoo nkauj, hluav taws xob zoo, thiab yog siv hluav taws xob zoo, thiab yog siv hluav taws xob zoo, thiab yog cov khoom siv hluav taws xob, roj ntsha thiab lwm yam teb. DLC txheej yog feem ntau npaj los ntawm lub cev muaj pa theem tsub zuj zuj kev qauv, thiab yog tsim los ntawm cov khoom siv tsub tshwj xeeb. Cov hauv qab no yog cov lus qhia luv luv rau tsib ntu uas ua rau cov khoom siv deposition.
1. Cua sov thiab dej txias zog
Cov cua sov thiab cov dej txias zog yog tusyees faib ib puag ncig, thiab ntim cua sov thiab kho tau cov khoom siv tswb nrov; Qhov chaw rotating yog nyob rau hauv qab ntawm cov kev sib txuam ntawm cov chamber thiab yog insulated los ntawm insulating ceramics, thiab kev hloov tsheb nrawm yog tswj tau thiab kho tau.
2. Lub Tshuab Nqus Tsev
Lub tshuab nqus tsev muaj cov twj tso kua mis, cov hauv paus hniav tso kua mis, uas tuaj yeem hloov pauv ntawm lub siab thiab lub tshuab nqus dej siab raws li cov txheej txheem.
3. Cov Khoom Siv Hluav Taws Xob
Cov pa roj hluav taws xob tau muab tso rau sab saum toj ntawm cov chav sib txuam, thiab cov roj av muaj txiaj ntsig los pab txhawb ntxiv rau lwm yam roj av nyob rau yav tom ntej.
Txhawm rau kom tau txais cov kev hloov hloov uas muaj si, Sih4 feem ntau yog siv los ua cov khoom siv roj, tab sis peb xaiv qhov tsawg dua li cov pa roj ua cov txheej txheem txheej.
4. Lub hom phiaj stacking
Cov cuab yeej siv ob pawg sib faib, PVD thiab PCVD, cov ntsuas hluav taws xob tau tsim nyog, thiab tib lub sijhawm sib txawv Nws kuj tseem tuaj yeem muab tso rau ntawm cov workpece; Thawj lub hom phiaj ntawm PVD chav tsev yog: (1) rau cov txheej txheem sib txawv, thiab cov nplaum sib txawv lossis cov nplaum sib txawv ntawm cov khoom sib txawv ntawm cov ntsiab lus sib txawv ntawm cov ntsiab lus sib txawv (2) Tom qab hloov lub hom phiaj, ntau yam ntawm cov txheej txheem sib xyaw ntawm "cov khoom siv ua haujlwm + DLC" rau ntau hom kev sib txawv tuaj yeem tsim tau.
5. Kev tswj hluav taws xob hluav taws xob
Cov hluav taws xob hluav taws xob saws PlC puv cov kev tswj hwm, thiab cov txheej txheem daws teeb meem yog qhib, thiab cov cuab yeej tswj tau qhib, thiab cov khoom siv yuav nquag ua haujlwm thiab saib xyuas lub sijhawm tiag tiag. Yog tias muaj teeb meem, cov cuab yeej yuav pib lub tswb, thiab raws li lub suab ceeb toom, lub cuab yeej yuav xaiv ncaj qha, thiab txuas ntxiv ua haujlwm ncaj qha, thiab txuas ntxiv mus ua haujlwm tom qab lub tswb raug tshem tawm. Cov ntaub ntawv ua haujlwm thiab cov ntaub ntawv nrov ntawm txhua lub cub hluav taws tau khaws cia hauv lub khoos phis tawm kom siv tau yooj yim. Raws li cov cai, cov cuab yeej tuaj yeem hloov pauv mus rau kev ua haujlwm ntawm kev sib tham, thiab cov txheej txheej tuaj yeem hloov kho hauv cov haujlwm tseem ceeb thaum lub sijhawm txheej txheej.