Nyob rau hauv cov txheej txheem tsim khoom niaj hnub semiconductor, wafer neeg hlau, ua ib qho ntawm cov khoom siv tseem ceeb, ua lub luag haujlwm tseem ceeb. Wafer neeg hlau feem ntau yog siv rau wafer tuav, sorting thiab ua, thiab lawv qhov tseeb thiab efficiency ncaj qha cuam tshuam rau tag nrho cov efficiency thiab tawm los ntawm semiconductor ntau lawm. Cov qauv thiab cov qauv kev ua haujlwm ntawm wafer neeg hlau yog raws li hauv qab no:
Qauv
1.Robotic caj npab: Lub caj npab neeg hlau ntawm wafer neeg hlau feem ntau yog tsim los nrog ntau axes kom ua tiav qib siab ntawm kev ywj pheej ntawm kev txav mus los. Cov hom neeg hlau feem ntau suav nrog SCARA thiab Cartesian robots.
2. End effector: Qhov no yog ib feem ntawm kev sib cuag ncaj qha thiab rub lub wafer, feem ntau yog tsim los ua lub tshuab nqus tsev nqus los yog cov khoom siv kho tshuab kom ntseeg tau tias lub wafer ruaj khov thiab tsis puas thaum tuav.
3. Kev tswj hwm qhov system: suav nrog servo lub cev muaj zog thiab tsav tsheb, uas yog siv los tswj kev txav ntawm caj npab neeg hlau kom paub meej qhov chaw thiab ua haujlwm zoo.
4. Sensor: siv los txheeb xyuas txoj haujlwm, qhov loj me thiab cov xwm txheej ntawm lub wafer, hom sensor hom muaj xws li photoelectric sensors thiab laser sensors.
5. Kev tswj hwm qhov system: suav nrog cov tswj hwm thiab software rau kev ua haujlwm thiab tswj kev ua haujlwm ntawm cov neeg hlau. Cov txheej txheem tswj feem ntau sib xyaw ua ke cov txheej txheem siab heev los pab kom pom txoj hauv kev zoo thiab kho qhov yuam kev.
Nws ua haujlwm li cas
1.Initialization thiab positioning: Tus neeg hlau txiav txim siab txoj hauj lwm ntawm nws tus kheej thiab lub hom phiaj wafer los ntawm sensors. Lub kaw lus tswj pib pib txoj haujlwm ntawm lub caj npab robotic thiab npaj nws los ua txoj haujlwm tuav.
2. Ncua lub wafer: Raws li cov lus qhia ntawm kev tswj hwm, lub caj npab robotic txav mus rau qhov chaw uas lub wafer nyob. Qhov kawg-effector tuav lub wafer los ntawm lub tshuab nqus tsev nqus los yog lub tshuab gripper kom ntseeg tau tias lub wafer ruaj khov thiab tsis puas.
3. Wafer tuav: Tus neeg hlau caj npab thauj lub wafer mus rau qhov chaw lub hom phiaj raws txoj kev uas tau teem tseg. Thaum lub sij hawm tus txheej txheem no, lub zog tswj qhov system ua kom paub tseeb tias tus neeg hlau caj npab txav tau zoo thiab tias lub wafer tsis raug kev poob siab lossis kev co.
4. Kev tso chaw wafer: Lub caj npab neeg hlau yuav tso lub wafer kom meej meej rau txoj hauj lwm lub hom phiaj, thiab qhov kawg effector yuav loosen lub wafer kom tiav cov hauj lwm tuav.
5. Rov qab mus rau qhov chaw pib: Tus neeg hlau caj npab rov qab mus rau qhov chaw pib thiab npaj txhij los ua txoj haujlwm tuav haujlwm tom ntej.
Hauv kev xaus, wafer neeg hlau ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev tsim khoom semiconductor, thiab lawv cov kev ua haujlwm siab thiab kev ua haujlwm ua rau lawv cov khoom siv tseem ceeb hauv cov txheej txheem tsim khoom semiconductor.
